Салттуу Al2O3 жана BeO субстрат материалдарынын комплекстүү аткаруу артыкчылыктары менен айкалышып, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ алюминий нитриди (AlN) керамикалык (монокристаллдын теориялык жылуулук өткөрүмдүүлүгү 275W/m▪k＼, поликристаллдын теориялык жылуулук өткөрүмдүүлүгү 170m~20mW болуп саналат) ), аз диэлектрик туруктуулугу, бир кристалл кремний менен дал келген жылуулук кеңейүү коэффициенти жана жакшы электрдик изоляциялык касиеттери микроэлектроника тармагында схеманын субстраттары жана таңгактары үчүн идеалдуу материал болуп саналат.Бул ошондой эле жакшы жогорку температуранын механикалык касиеттери, жылуулук касиеттери жана химиялык туруктуулугу үчүн жогорку температуралык структуралык керамикалык компоненттер үчүн маанилүү материал.
AlN теориялык тыгыздыгы 3,26г/см3, MOHS катуулугу 7-8, бөлмө температурасынын каршылыгы 1016Ωмден жогору, ал эми жылуулук экспансиясы 3,5×10-6/℃ (бөлмө температурасы 200℃).Таза AlN керамика түссүз жана тунук, бирок алар кирлерден улам боз, боз ак же ачык сары сыяктуу ар кандай түстө болот.
жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк тышкары, AlN керамика да төмөнкү артыкчылыктарга ээ:
1. Жакшы электр изоляциясы;
2. Кремний монокристалы менен окшош жылуулук кеңейүү коэффициенти, Al2O3 жана BeO сыяктуу материалдардан жогору;
3. Al2O3 керамика менен жогорку механикалык күч жана окшош ийилүүчү күч;
4. Орточо диэлектрдик өтүмдүүлүк жана диэлектрик жоготуу;
5. BeO менен салыштырганда, AlN керамикасынын жылуулук өткөрүмдүүлүгү температуранын азыраак таасири астында, айрыкча 200 ℃ жогору;
6. Жогорку температура каршылык жана коррозияга каршылык;
7. уулуу эмес;
8. Жарым өткөргүч өнөр жайы, химиялык металлургия өнөр жайы жана башка өнөр жай тармактарында колдонулат.
Посттун убактысы: 14-июль 2023-ж