Салттуу Al2O3 жана BeO субстрат материалдарынын комплекстүү иштөө артыкчылыктары менен айкалышып, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө (монокристалдын теориялык жылуулук өткөрүмдүүлүгү 275 Вт/м▪к, поликристалдын теориялык жылуулук өткөрүмдүүлүгү 70~210 Вт/м▪к), төмөнкү диэлектрикалык туруктуулугу, жылуулук кеңейүү коэффициенти монокристалл кремний менен дал келет жана жакшы электрдик изоляциялык касиеттерге ээ алюминий нитриди (AlN) керамикасы микроэлектроника тармагындагы схемалык субстраттар жана таңгактоо үчүн идеалдуу материал болуп саналат. Ошондой эле, жогорку температурадагы механикалык касиеттери, жылуулук касиеттери жана химиялык туруктуулугу жакшы болгондуктан, жогорку температурадагы структуралык керамикалык компоненттер үчүн маанилүү материал болуп саналат.
AlNдин теориялык тыгыздыгы 3,26 г/см3, MOHS катуулугу 7-8, бөлмө температурасындагы каршылыгы 1016Ωмден жогору жана жылуулук кеңейүүсү 3,5 × 10-6/℃ (бөлмө температурасы 200℃). Таза AlN керамикасы түссүз жана тунук, бирок кошулмалардан улам алар боз, бозомук ак же ачык сары сыяктуу ар кандай түстө болот.
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүнөн тышкары, AlN керамикасы төмөнкү артыкчылыктарга ээ:
1. Жакшы электр изоляциясы;
2. Кремний монокристаллына окшош жылуулук кеңейүү коэффициенти, Al2O3 жана BeO сыяктуу материалдардан жогору;
3. Al2O3 керамикасы менен жогорку механикалык бекемдик жана окшош ийилүүгө туруктуулук;
4. Орточо диэлектрик туруктуулугу жана диэлектрик жоготуу;
5. BeO менен салыштырганда, AlN керамикасынын жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө температура, айрыкча 200℃ жогору температура азыраак таасир этет;
6. Жогорку температурага жана коррозияга туруктуулук;
7. Уулуу эмес;
8. Жарым өткөргүчтөр өнөр жайында, химиялык металлургия өнөр жайында жана башка өнөр жай тармактарында колдонулушу керек.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 14-июлу