300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 12 дюймдук алюминий кычкылынан жасалган вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын 12 дюймдук вакуум патрону 300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 99,8% жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан (Al₂O₃) тактык менен жасалган. Патрондун бети майда оюктарга ээ (ойуктун туурасы 0,5–1,0 мм, кадамы 2–3 мм), бул 300 мм диаметр боюнча вакуумдун бирдей бөлүштүрүлүшүн камсыз кылат. Тегиздик 5 мкм чегинде сакталат, бул пластинаны кесүү, арткы бетин майдалоо жана текшерүү учурунда кыйшыктыксыз бекитүүгө мүмкүндүк берет. Материалдын жогорку ийилүүгө туруктуулугу (361 МПа) жана катуулугу (16 ГПа) кайталанган вакуум циклдеринде да узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулукту кепилдейт.
Техникалык мүнөздөмөлөрү (99,8% Al₂O₃ негизинде):
| Мүлк | Баалуулук |
| Диаметри | 300 мм (12 дюйм) |
| Материал | 99,8% глинозем (пил сөөгүнүн сөөгү) |
| Тыгыздык | 3,93 г/см³ |
| Ийилүүнүн күчү | 361 МПа |
| Виккерстин катуулугу | 16 ГПа |
| Тегиздик (300 ммден ашык) | ≤5 мкм |
| Оюктун туурасы | 0,5–1,0 мм |
| Максималдуу иштөө температурасы | 800°C |
| Диэлектрикалык күч | 15×10⁶ В/м |
Колдонмолор:
300 мм пластинаны кесүү жана чийүү
Вафлинин арткы бетин майдалоо (жука вафли таянычы)
Оптикалык текшерүү жана зонддоо
Убактылуу байланыштыруучу/байланыштан чыгаруучу патрондор
Өндүрүш:
CNC менен тегизделип, акыркы тегиздикке чейин айландырылат, алмаз дөңгөлөктөр менен оюктар жасалат, ультраүн менен тазаланат жана 100-класстагы таза бөлмөгө таңгакталат. Ар бир патрон тегиздикке (лазердик интерферометр) жана оюктун тереңдигине (профилометр) 100% текшерилет.
Артыкчылыктары:
Бөлүкчөлөрдүн аз пайда болушу (≤0,05 бөлүкчө/см²)
Эриткичтерге жана кислоталарга химиялык жактан инерттүү
ESD үчүн коопсуз бет (каршылык >10¹³ Ω·см)
Ыңгайлаштырылган вакуумдук тешиктердин үлгүлөрү жана арткы порттор бар.
