Физикалык буу топтоо системалары үчүн глинозем кычкылынын PVD изоляциялык шакеги

St.Cera компаниясынын PVD изоляциялык шакеги физикалык буу чөктүрүү (PVD) системаларында колдонуу үчүн 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган. Шакек камеранын компоненттеринин ортосунда электрдик изоляцияны камсыз кылат, дого пайда болушунун алдын алат жана плазманын туруктуу иштешин камсыз кылат. Негизги касиеттерине жогорку диэлектрикалык бекемдик (15 × 10⁶ V/m), салыштырмалуу каршылык >10¹⁴ Ω·mm²/m жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугу кирет. Биздин так иштетүү мүмкүнчүлүктөрүбүз тышкы диаметрлерди 600 ммге чейин, ички диаметрлерди 0,2 ммге чейин түшүрүүгө, тегиздикти 0,003 ммге жана беттик Ra0.1ге жеткирет. Шакектин нөлдүк тешиктүүлүгү жана химиялык инерттүүлүгү агрессивдүү чачыратуу чөйрөсүндө узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү камсыз кылат.

Техникалык мүнөздөмөлөрү (99,8% Al негизинде)₂O₃& St.Cera өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү):

Колдонмолор:

• · PVD системаларындагы бутага алынуучу арткы пластина изоляторлору
• · Камеранын өтүүчү изоляторлору
• · Чачыратуу системаларындагы калкан шакекче изоляторлору
• · Плазмалык камералардагы жогорку чыңалуудагы изоляция

Өндүрүш тактыгы:

Концентрдүүлүк: 0,01 мм, тегеректиги: 0,002 мм, түздүгү: 0,005 мм, перпендикулярдуулугу: 0,005 мм, CMM аркылуу текшерилген.

AПолимердик изоляторлорго караганда артыкчылыктары:

• · Полимердин <300°C чегине салыштырмалуу 1600°C температурага туруштук берет
• · Газдын сыртка чыгышы жок – вакуумдун бүтүндүгүн сактайт
• · Плазма эрозиясына жана химиялык чабуулга туруктуу

Ыңгайлаштыруу:

Ыңгайлаштырылган кесилиштер, монтаждоо функциялары, тепкич профилдери жана бир нече концентрикалык шакекчелердин конструкциялары бар.