Вафли менен иштөө үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык робот колу
St.Cera компаниясынын глинозем кычкылынан жасалган керамикалык робот колу 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃ (глинозем) кычкылынан тактык менен жасалган. Ал өзгөчө ийилүүчү бекемдикти (361 МПа), жогорку катуулукту (16 ГПа) жана төмөнкү тыгыздыкты (3,93 г/см³) айкалыштырат, натыйжада жарым өткөргүч пластиналарды өткөрүү үчүн жеңил, бирок катуу кол пайда болот. Материалдын жылуулук кеңейүү коэффициенти (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийге абдан дал келет, бул иштетүү учурунда жылуулук дал келбестигин азайтат.
Техникалык мүнөздөмөлөрү (99,8% Al₂O₃ негизинде):
| Мүлк | Баалуулук |
| Түс | Пил сөөгү |
| Тыгыздык | 3,93 г/см³ |
| Ийилүүнүн күчү | 361 МПа |
| Виккерстин катуулугу | 16 ГПа |
| Янгдын модулу | 380 ГПа |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү | 32 Вт/м·к |
| Термикалык кеңейүү | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрикалык күч | 15×10⁶ В/м |
Колдонмолор:
- Вакуумдук пластиналарды которуучу роботтор (200мм/300мм)
- Атмосфералык башкаруу системалары
- FAB автоматташтыруу үчүн акыркы эффектордук колдор
Өндүрүш процесси:
Изостатикалык пресстөө → жашыл иштетүү → 1600°C температурада бышыруу → CNC так майдалоо → ультраүн тазалоо → 100-класстагы таза бөлмө таңгагы. Ар бир кол тегиздигине (±0,01 мм) жана беттин оройлугуна (Ra ≤0,4 мкм) CMM аркылуу 100% текшерилет.
Сапатты көзөмөлдөө:
St.Cera ISO 9001:2015 сертификатына ээ. Биз микро-жарыктарга боёктун сиңүү сыноосун, ийилүүгө туруктуулук үчүн үч чекиттүү ийилүүнү жана ASTM D149 стандартына ылайык диэлектрикалык туруктуулук сыноосун жүргүзөбүз.
Металл кол каптарга караганда артыкчылыктары:
- дат баспас болоттон 50% жеңил
- Гальваникалык коррозия жок
- Бөлүкчөлөрдүн пайда болушунун төмөнкү көрсөткүчү (≤0,05 бөлүкчө/см²)
- ESDге каршы коргоочу каптоо бар (10⁶–10⁹ Ω/кв)
Ыңгайлаштыруу:
OEM чиймелерине ылайык узундуктары 150 ммден 450 ммге чейин, учтарынын формалары (четки кармоо, Бернулли, вакуум) жана монтаждоочу фланец үлгүлөрү. Прототиптер 2 жуманын ичинде жасалат.
Көп сандагы буйрутмалар үчүн, сураныч, баа сураңыз.
