Тактык менен кесүү жана майдалоо үчүн алюминий кычкылынан жасалган вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын алюминий кычкылынын вакуумдук патрондору 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃дон жана так иштетилген вакуумдук оюктардан жасалат. Биздин так майдалоо мүмкүнчүлүгүбүз 0,003 мм тегиздикке жана 0,002 мм параллелдүүлүккө жетишет, бул майдалоо, арткы бетин майдалоо жана текшерүү учурунда ийриликсиз пластинаны бекитүүнү камсыздайт. Материал жогорку ийилүүгө туруктуулукту (361 МПа), катуулукту (16 ГПа) жана 800°C чейин термикалык туруктуулукту камсыз кылат. Тышкы диаметри 600 ммге чейинки тегерек форматтарда (OD) жана узундугу 1500 ммге чейинки тик бурчтуу формаларда жеткиликтүү. Вакуумдук оюктар белгилүү бир процесстин талаптарына ылайыкташтырылып иштелип чыккан (концентрикалык, радиалдык же торчо үлгүлөрү). Ар бир патрон лазердик интерферометр менен текшерилет жана тегиздикти текшерүү отчету менен берилет.
Техникалык мүнөздөмөлөрү (99,8% Al негизинде)₂O₃& St.Cera өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | 99,8% глинозем (пил сөөгүнүн сөөгү) |
| Тыгыздык | 3,93 г/см³ |
| Ийилүүнүн күчү | 361 МПа |
| Виккерстин катуулугу | 16 ГПа |
| Сырткы диаметри (макс.) | 600 мм |
| Калыңдыгы (макс.) | 100 мм |
| Узундугу (макс.) | 1500 мм |
| Тегиздик | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Беттик жасалгалоо | Ra0.1 |
| Максималдуу иштөө температурасы | 800°C |
Колдонмолор:
- · Вафлилерди туурап, чийүү (200 мм/300 мм жана андан чоң)
- · Жука пластиналарды арткы бетинен майдалоо
- · Оптикалык текшерүү жана зонддоо
- · Чоң субстрат менен иштөө
Өндүрүш тактыгы:
- · Түздүк: 0,005 мм
- · Перпендикулярдуулук: 0,005 мм
- · Тегеректиги: 0,002 мм
- · Концентрация: 0,01 мм
