Вафли менен иштөөчү роботтор үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык эффектор
St.Cera компаниясынын алюминий кычкылынын керамикалык уч эффектору 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃дон 5-октуу CNC майдалоочу жабдууларды колдонуу менен так иштетилет. Биздин өндүрүш мүмкүнчүлүктөрүбүзгө так майдалоочу станоктор жана CNC иштетүү борборлору кирет, бул татаал геометрияларды жогорку тактык менен түзүүгө мүмкүндүк берет. Уч эффектор пластинаны жылмакай киргизүү үчүн конус формасындагы алдыңкы чети бар жука профилге (1,5 ммге чейин ичке) ээ. Материал жогорку катуулукту (Юнг модулу 380 ГПа), эң сонун эскирүүгө туруктуулукту жана 800°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат. Ар бир блок 0,003 мм тегиздикке, 0,002 мм параллелизмге жана Ra0.1 беттик жасалгасына жетүү үчүн так майдаланат, бул жарым өткөргүч FAB чөйрөсүндө пластинанын туруктуу байланышын жана бөлүкчөсүз иштөөнү камсыз кылат. 150 ммден 450 ммге чейинки узундуктарда, OEM роботторуна ылайыкташтырылган уч геометриялары (четки кармоо, Бернулли, жалпак) жана орнотуу фланецтери менен жеткиликтүү. Беттик жасалгалоо варианттарына жылтыратылган, жылтыратылган же ESD диссипативдик каптоо (10⁶–10⁹ Ω/кв) кирет.
Техникалык мүнөздөмөлөрү (99,8% Al негизинде)₂O₃& St.Cera өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | 99,8% глинозем (пил сөөгүнүн сөөгү) |
| Тыгыздык | 3,93 г/см³ |
| Ийилүүнүн күчү | 361 МПа |
| Виккерстин катуулугу | 16 ГПа |
| Янгдын модулу | 380 ГПа |
| Тегиздик | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Беттик жасалгалоо | Ra0.1 (бети жабылган/жылтыратылган) |
| Максималдуу иштөө температурасы | 800°C |
| Узундук диапазону | 150–450 мм |
Колдонмолор:
- · Вакуумдагы жана атмосфералык роботтордо пластинаны өткөрүп берүү
- · 200 мм/300 мм пластиналар үчүн FAB автоматташтыруу эффекторлору
- · Ичке пластина менен иштөө (ESD опциясы менен)
Өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү:
Биздин так майдалоочу станоктор жана CNC иштетүү борборлору татаал керамикалык компоненттерди төмөнкүлөр менен өндүрүүгө мүмкүндүк берет:
- · Максималдуу иштетүү узундугу: 1500 мм
- · Максималдуу сырткы диаметри: 600 мм
- · Минималдуу ички диаметри: 0,2 мм
- · Максималдуу калыңдыгы: 100 мм
Сапатты көзөмөлдөө:
Түздүгү 0,005 мм, перпендикулярдуулугу 0,005 мм, тегеректиги 0,002 мм, параллелдүүлүгү 0,002 мм, концентрдүүлүгү 0,01 мм CMM тарабынан текшерилген. Ар бир блок ультраүн менен тазаланып, 100-класстагы таза бөлмөгө таңгакталган.











