-
Вафли менен иштөө үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык робот колу
St.Cera компаниясынын глинозем кычкылынан жасалган керамикалык робот колу 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃ (глинозем) кычкылынан тактык менен жасалган. Ал өзгөчө ийилүүчү бекемдикти (361 МПа), жогорку катуулукту (16 ГПа) жана төмөнкү тыгыздыкты (3,93 г/см³) айкалыштырат, натыйжада жарым өткөргүч пластиналарды өткөрүү үчүн жеңил, бирок катуу кол пайда болот. Материалдын жылуулук кеңейүү коэффициенти (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийге абдан дал келет, бул иштетүү учурунда жылуулук дал келбестигин азайтат.
-
Бернулли керамикалык уч эффектору — жука жана морт пластиналар үчүн контактсыз пластина менен иштөө
St.Cera компаниясынын Бернулли керамикалык уч эффектору пластиналарды физикалык байланышсыз иштетүү үчүн аэродинамикалык көтөрүүнү колдонот. Жогорку тазалыктагы 99,8% глиноземден (Al₂O₃) же кремний карбидинен (SiC) жасалган ал так иштетилген соплолорго ээ, алар уч эффектор менен пластинанын ортосунда жука аба пленкасын түзүү үчүн басымдуу газды чыгарат. Бул байланышсыз принцип арткы бетинин булганышын, четинин сынып кетишин жана беттин бузулушун жок кылат, бул аны жука (≤100 мкм), морт же ийилген пластиналар үчүн идеалдуу кылат. Керамикалык субстрат жогорку ийилүүчү бекемдикти (Al₂O₃ үчүн 361 МПа; SiC үчүн 550–600 МПа чейин), аз массалык жана эң сонун өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат, бул жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуу роботторунда кайталануучу жайгаштырууну камсыз кылат.
-
Тефлон менен капталган керамикалык уч эффектору – пластиналарды сезгич иштетүү үчүн жабышпаган бет
St.Cera компаниясынын тефлон (PTFE) менен капталган керамикалык эффектору жогорку бекемдиктеги алюминий кычкылынын негизин бир калыптагы, аз сүрүлүүчү PTFE каптоосу менен айкалыштырат (калыңдыгы 15–30 мкм). Каптоо өтө төмөн сүрүлүү коэффициентин (≤0.1), эң сонун химиялык туруктуулукту жана жабышпаган касиеттерди камсыз кылат, пластинанын адгезиясынын алдын алат жана арткы булганууну жок кылат. Негизги керамикалык негиз (99,8% Al₂O₃) жогорку ийилүү бекемдигин (361–1000 МПа), эскирүүгө туруктуулукту жана 260°C чейин (каптоо чеги) жылуулук туруктуулугун сунуштайт. Бул эффектор назик, жука же жабышкак пластиналарды иштетүү үчүн идеалдуу (мисалы, фоторезисттик каптоодон же химиялык процесстерден кийин).
