Жарым өткөргүчтүү процесстик арматуралар үчүн керамикалык тирөөч төөнөгүч
St.Cera компаниясынын керамикалык тирөөч төөнөгүчтөрү (ошондой эле көтөргүч төөнөгүчтөр же тирөөч төөнөгүчтөр деп аталат) жарым өткөргүчтүү иштетүү камераларында пластиналарды же субстраттарды иштетүү, ысытуу же муздатуу учурунда көтөрүү үчүн колдонулат. 99,8% алюминий кычкылынан же кремний нитридинен жасалган бул төөнөгүчтөр жогорку кысуу күчүн, жылуулук туруктуулугун жана химиялык каршылыкты камсыз кылат. Жарым шар же жалпак учтуу конструкция пластинанын чийилишине жол бербейт.
Техникалык мүнөздөмөлөрү(Алюминий кычкылы 99,8%):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ же Si₃N₄ |
| Узундугу | 10 – 100 мм |
| Диаметри | 1 – 10 мм |
| Учтун формасы | Жалпак, жарым шар сымал, учтуу |
| Басуу күчү (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максималдуу иштөө температурасы (Al₂O₃) | 1600°C |
| Беттик жасалгалоо | Капталган (Ra ≤0.4 мкм) |
| Диаметрге чыдамдуулук | ±0,01 мм |
Колдонмолор:
CVD/PVD камераларындагы көтөргүч төөнөгүчтөр
Ысык плитада бышыруу үчүн таяныч төөнөгүчтөрү
Зонд картасын колдоочу түзүлүштөр
Кварц мешинин кайык тирөөчтөрү
Өндүрүш:
ODди так борборсуз майдалоо → учтун профилин алмаз менен майдалоо → ультраүн менен тазалоо → 100% өлчөмдүү текшерүү.
Сапатты көзөмөлдөө:
Узундук/диаметр үчүн CMM, учтун радиусу үчүн оптикалык салыштыргыч, кысуу күчүн текшерүү үчүн жүктү текшерүү (ар бир партия үчүн кокустук үлгү). Ферромагниттик булгануу жок (магнит менен текшерилген).
Металл же кварц төөнөгүчтөрүнө караганда артыкчылыктары:
Дат баспас болоттон жасалганга караганда 5 эсе узак кызмат мөөнөтү
Процесстик камерада металл булгануусу жок
Кварцка караганда жогорку температурага жөндөмдүүлүк (1600°C жана 1100°C)
Жабышпаган бет (бөлүкчөлөрдүн адгезиясын азайтат)
Ыңгайлаштыруу:
Бир нече учтуу профилдер, бурамалуу негиз же конус формасындагы валы.
Ошондой эле, биз экстремалдык плазма чөйрөлөрү үчүн SiC төөнөгүчтөрүн жеткирип беребиз.
