CVD/PVD душ баштыгы үчүн глинозем газын бөлүштүрүүчү плита
St.Cera компаниясынын газ бөлүштүрүүчү плитасы (душ баштыгы) жогорку тазалыктагы 99,8% алюминий кычкылынан жасалган керамикадан тактык менен иштетилген. Ал CVD, PVD же ALD процесстеринде пластинанын бети боюнча бирдей газ агымын камсыз кылган бир катар микро-тешиктерге (диаметри 0,3–1,5 мм) ээ. Пластинанын жогорку диэлектрикалык бекемдиги (>15×10⁶ V/м) жана плазмага туруктуулугу аны жарым өткөргүч жука пленкалуу чөкмө үчүн маанилүү кылат.
Техникалык мүнөздөмөлөрү:
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ же SiC |
| Диаметри | 100 – 1500 мм (тегерек) же тик бурчтуу |
| Калыңдыгы | 5 – 20 мм |
| Тешиктин диаметри | 0,3 – 1,5 мм |
| Тешик үлгүсү | Ыңгайлаштырылган (үч бурчтуу, төрт бурчтуу, радиалдык) |
| Тегиздик | Толук аянт боюнча ≤10 мкм |
| Беттин оройлугу | Ra ≤0.6 мкм (газ тарабы) |
| Ачык аянттын катышы | 5–15% |
Колдонмолор:
PECVD душ башынын плиталары
ALD газ инжекторлору
Отоо камерасынын газ бөлүштүрүүчү плиталары
MOCVD реакторунун компоненттери
Өндүрүш:
Алюминий кычкылынын негизи жалпак капталган → Алмаз менен капталган шаймандар менен CNC бургулоо (тешиктин абалына чыдамдуулук ±0,02 мм) → тешиктерди тазалоо → ультраүн тазалоо → 100-класстагы таңгактоо.
Сапатты көзөмөлдөө:
Ар бир пластина тешиктин өлчөмүнө (көрүү системасы), тегиздигине (лазердик интерферометр) жана газ агымынын бирдейлигине (басымды картага түшүрүүгө) 100% текшерилет. 20x микроскопунда микрожарыктар жок.
Металл плиталар менен салыштырганда артыкчылыктары:
Жука пленкаларда металлдык булгануу жок
Бөлүкчөлөрдүн пайда болушу азыраак (коррозия кабырчыктары жок)
Агрессивдүү тазалоочу плазмаларга (CF₄, NF₃) туруштук берет
Ыңгайлаштырылган функциялар:
Арткы газ каналдары, каршы бургуланган тешиктер, четки пломбалар жана ар кандай материалдар класстары (жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү үчүн SiC, плазмага туруктуулук үчүн Y₂O₃ каптоо).
Биз өндүрүшкө чейин CAD текшерүүсүн жана агым симуляциясын камсыздайбыз.
