Бурмаланган пластиналарды иштетүү үчүн тешиктүү керамикалык вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын тешиктүү керамикалык патрону жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан жасалган, анын ачык тешиктүүлүгү 30–45% жана тешикчелеринин өлчөмдөрү 10дон 100 мкмге чейин. Кадимки оюктуу патрондордон айырмаланып, тешиктүү бет пластинанын арткы бетинин бүтүндөй бетине бөлүштүрүлгөн вакуумду камсыз кылат, ийри, ичке же обочолонгон пластиналарды четтери көтөрүлбөй же сынбай натыйжалуу кармап турат. Жумшак вакуум (чектөөчү аркылуу жөнгө салынат) ошондой эле арткы бетинде белгилердин пайда болушуна жол бербейт.
Техникалык мүнөздөмөлөрү(99,6% Al негизинде)₂O₃):
| Мүлк | Баалуулук |
| Кеуектүүлүк | 30–45% |
| Орточо тешикчелердин өлчөмү | 10–100 мкм (тандалышы мүмкүн) |
| Ийилүүнүн күчү | ≥250 МПа |
| Тегиздик (300 ммден ашык) | ≤5 мкм |
| Беттик жасалгалоо | Капталган (Ra 0.8 мкм) |
| Макс вакуум деңгээли | -80 кПа |
| Иштөө температурасы | 400°C (аба), 600°C (инерттүү) |
| Материал | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ же SiC |
Колдонмолор:
Ичке пластина (≤50 мкм) арткы бетин майдалоо
Кесүү үчүн ийри пластинаны орнотуу
Тасмадан сингулярдуу калыпты алуу
Айнек панелдерди иштетүү
Өндүрүш жана сапат:
Органикалык тешикчелерди түзүүчүлөр менен аралаштырылган керамикалык порошок → пресстелген → блендерленген → акыркы калыңдыкка чейин жабыштырылган. Ар бир патрон вакуумдук бирдейликке (≤5% четтөө) агым менен текшерилет жана тешикчелердин өлчөмүнүн бөлүштүрүлүшү (SEM) текшерилет. Тегиздик лазердик интерферометр менен өлчөнөт.
Оюлган чакалар менен салыштырганда артыкчылыктары:
Вафли четиндеги белгилердин же калыптын жылышынын жоктугу
Ийри пластиналарды кармайт (500 мкмге чейин)
Вакуумдук тешиктердин бүтөлүп калышын жок кылат
Жука субстраттар үчүн өзүн-өзү тегиздөөчү колдоо
Ыңгайлаштыруу:
Тегерек же тик бурчтуу формадагы, өлчөмү 600 ммге чейин. Биз четки пломбалоочу шакекчелерди же зоналык вакуумдук тосмолорду колдоно алабыз. Жогорку катуулук талаптары үчүн металл менен капталган версиялары бар.
Вафли өлчөмү жана варцтык тест үчүн үлгү сураңыз.
