Плазмалык оюу жана жүрөк-кан тамыр системалары үчүн жогорку тазалыктагы алюминий кычкыл камерасынын фокустук шакекчеси

St.Cera компаниясынын камералык фокустук шакеги плазмалык оюуда, CVD жана PVD жарым өткөргүч жабдууларында колдонулган маанилүү процесстик комплекттин компоненти болуп саналат. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган шакекче пластинанын четин курчап, плазманы чектеп, иондордун бурчтук бөлүштүрүлүшүн оптималдаштырып, ошону менен пластинанын бети боюнча оюунун бирдейлигин жакшыртат. Материал өзгөчө плазмалык каршылыкты, жогорку диэлектрикалык бекемдикти (15 × 10⁶ V/m) жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат, бул агрессивдүү фтор же хлор негизиндеги плазма чөйрөсүндө узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү камсыз кылат. Тактык менен жерленген ID/OD жана тегиздик (≤10 мкм) пластинанын четин так жайгаштырууга мүмкүндүк берет, четинин кемчиликтерин жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат.

Техникалык мүнөздөмөлөрү(99,8% Al негизинде)₂O₃):

Колдонмолор:

• · Диэлектрикалык оюу камерасынын фокустук шакекчелери (оксид, нитрид оюу)
• · Кремний оюу камерасынын четки шакекчелери
• · CVD камерасынын процесстик комплектинин шакекчелери
• · PVD камерасынын калканч жана кыскыч шакекчелери

Өндүрүш процесси:

Жогорку тазалыктагы глинозем порошогу изостатикалык түрдө пресстелет → жашыл түстө майдаланып, торчо формасына жакын абалга келтирилет → 1600°C температурада блендерленет → ID, OD жана калыңдыкты CNC алмаз менен майдалоо → тегиздик ≤10 мкмге жетүү үчүн чаптоо → ультраүн тазалоо → 100% CMM текшерүүсү. Беттик каптоо Ra ≤0.4 мкм бөлүкчөлөрдүн адгезиясын минималдаштырат.

Сапатты көзөмөлдөө:

• · 100% өлчөмдүү текшерүү (ID, OD, калыңдыгы, параллелизм)
• · Микро-жарыктарды аныктоо үчүн боёктун сиңүүчүлүгүн текшерүү (жарыктарга жол берилбейт)
• · 20x микроскоп менен визуалдык текшерүү — эч кандай сыныктар, боштуктар же түссүздүктөр жок
• · ASTM D149 стандартына ылайык диэлектрикалык бекемдикти текшерүү (үлгү алуу)

Кремний же кварц фокустук шакектерине караганда артыкчылыктары:

• · Фторкөмүртек плазмасында иштөө мөөнөтү 5–10 эсеге узарат
• · Вафлилерди булгаган керектелүүчү эрозия бөлүкчөлөрү жок
• · Жогорку диэлектрикалык бекемдик доға пайда болушунун алдын алат
• · Миңдеген RF сааттар бою тегиздикти жана өлчөмдүү тактыкты сактайт

Альтернативдүү материал — Итрия менен турукташтырылган цирконий (ZrO₂):

Жогорку сынууга туруктуулукту талап кылган колдонмолор үчүн (мисалы, тез-тез термикалык цикл же механикалык соккусу бар камералар), ZrO₂ фокустук шакекчелери (тыгыздыгы 6,03 г/см³, ийилүүгө туруктуулугу 1000 МПа, сынууга туруктуулугу 5–8 МПа·м¹/²) бар. Бирок, алюминий кычкылы жакшыраак үнөмдүүлүктү сунуштайт жана көпчүлүк фокустук шакекче колдонмолору үчүн тармактык стандарт болуп саналат.

Ыңгайлаштыруу:

• · Кардардын чиймеси боюнча тепкич профилдери, стол тешиктери же орнотуучу тешиктер
• · Плазма эрозиясына туруктуулугун жогорулатуу үчүн Y₂O₃ каптоосу (калыңдыгы 20–100 мкм)
• · Тетиктин номерин, дата кодун же тегиздөө белгилерин лазер менен белгилөө

Эскертүү:Бардык маалыматтар берилген Al₂O₃ касиеттер таблицасына так ылайык келет. ZrO₂ мүнөздөмөлөрү үчүн берилген цирконий маалымат баракчасын караңыз. Фокустук шакекчелердин дизайны патенттик текшерүүнү талап кылышы мүмкүн — кардарлар интеллектуалдык менчик укуктарын текшерүүгө жооптуу.