Жогорку температурадагы камераны пломбалоо үчүн жогорку тазалыктагы глинозем керамикалык пломба шакекчеси
St.Cera компаниясынын керамикалык пломба шакеги эластомерлер бузулган экстремалдык чөйрөлөрдө полимердик О-шакектерге альтернатива катары иштелип чыккан. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган бул катуу пломба шакеги статикалык пломбалоо колдонмолорунда — адатта жумшак металл же графит прокладкасы менен жупташып — 800°C чейинки температурада жана агрессивдүү плазмалык же химиялык чөйрөлөрдө ишенимдүү вакуумдук же газды кармоону камсыз кылуу үчүн колдонулат. Материал нөлдүк газ бөлүп чыгарууну, жогорку кысуу күчүн (негизги ийилүү күчү 361 МПа) жана химиялык инерттүүлүктү (HFден башка галогендерге, кислоталарга жана щелочторго туруктуу) камсыз кылат. Тактык менен капталган пломбалоочу беттер (жалпактыгы ≤5 мкм, беттин оройлугу Ra ≤0,2 мкм) жупташкан металл же керамикалык компоненттер менен агып кетпей турган байланышты камсыз кылат.
Техникалык мүнөздөмөлөрү(99,8% алюминийге негизделген)₂O₃):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | 99,8% глинозем (пил сөөгүнүн сөөгү) |
| Тыгыздык | 3,93 г/см³ |
| Суунун сиңирилиши | 0% |
| Ийилүүнүн күчү | 361 МПа |
| Кысылуу күчү (болжолдуу) | >2000 МПа |
| Виккерстин катуулугу | 16 ГПа |
| Жылуулук менен кеңейүү (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Максималдуу иштөө температурасы | 800°C (аба), 1600°C (инерттүү) |
| Беттик жабуу (герметизацияланган бет) | Ra ≤0.2 мкм (капталган) |
| Тегиздик (25 мм үчүн) | ≤5 мкм |
| Гелийдин агып кетүү ылдамдыгы | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (тиешелүү прокладка менен) |
Колдонмолор:
- · Жарым өткөргүчтүү процесстик камеранын статикалык пломбалары (CVD, PVD, оюу)
- · Жогорку температурадагы мештин эшигинин пломбалары
- · Вакуумдук берүү фланецтери
- · Химиялык реактор идиштеринин жабылышы
Өндүрүш процесси:
Изостатикалык пресстөө → 1600°C температурада бышыруу → өтө жалпак, жылмакай пломбалоочу беттерге жетүү үчүн эки тараптуу тактык менен чаптоо → четтерин фаскалоо → ультраүн тазалоо. Ар бир шакек стандарттуу металл прокладкасы бар гелийдин агып кетүү детекторунда 100% агып кетүү текшерилет.
Сапатты көзөмөлдөө:
- · CMM өлчөмдүү текшерүүсү (ID, OD, калыңдыгы, параллелизм)
- · Ra жана толкундуулукту өлчөөчү беттик профилометр
- · Оптикалык жалпак жерди колдонуу менен жалпактык өлчөө
- · Гелийдин агып кетүүсүн текшерүү (артка басым жасоо ыкмасы)
Полимердик О-шакектерге караганда артыкчылыктары:
- · FFKM үчүн 800°C жана <300°C га туруштук берет
- · Газ бөлүп чыгаруу жок — вакуумдук чөйрөнүн булганышы жок
- · Плазманын бардык химиялык заттарына (фтор, хлор, кычкылтек) туруктуу
- · Кысуу же туруктуу деформация жок
- · Таза чөйрөдө чексиз кызмат мөөнөтү
Чектөөлөр (маанилүү эскертүүлөр):
- · О-шакекче эмес— бул жумшак прокладканы (жез, алюминий же графит) жабуу үчүн талап кылынган катуу керамикалык шакекче.
- · Динамикалык кыймылды же фланецтин чоң туура эмес жайгашуусун эске албайт.
- · Полимердик О-шакектерге караганда баштапкы баасы жогору, бирок узак мөөнөттүү колдонуу мөөнөтү ээлик кылуу баасын төмөндөтөт.
- · Морт — этияттык менен кармаңыз; чекиттүү соккудан же ийилүү стрессинен алыс болуңуз.
Эскертүү:Жогорудагы маалыматтар берилген Al₂O₃ касиеттер таблицасына так ылайык келет. Эластомердик материалдар боюнча эч кандай маалымат берилген эмес. Бул продукт эластомердик O-шакекче эмес, статикалык пломбалоочу шакекче. Сураныч, бул сиздин колдонуу талаптарыңызга жооп берерин текшериңиз.
