Жогорку температурадагы жана плазмалык чөйрөлөр үчүн кремний карбидинин (SiC) негизиндеги вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын SiC негизиндеги керамикалык патрону жогорку тазалыктагы кремний карбидинен жасалган (партия S1111, SiC 99,72%, эркин Si 0,05%). Ал 449 МПа өлчөнгөн ийилүү бекемдигин, 3,12 МПа·м¹/² сынуу бышыктыгын жана 457 ГПа серпилгичтик модулун камсыз кылат. Материалдын типтүү жылуулук өткөрүмдүүлүгү (120–150 Вт/м·К) жана төмөнкү жылуулук кеңейиши (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) термикалык цикл учурунда температуранын тез көтөрүлүшүн жана пластинанын минималдуу кыйшайышын камсыз кылат. Патронду тешиктүү вакуумдук патрон (бирдей газ агымы) же оюктуу стандарттуу патрон катары конфигурациялоого болот. Максималдуу колдонуу температурасы 1600–1700°C (жүксүз) жана плазма эрозиясына өзгөчө туруктуулугу менен бул патрон жогорку температурадагы пластинаны иштетүү (күйгүзүү, RTP) жана алюминий оксиди патрондору бузулган агрессивдүү оюу камералары үчүн идеалдуу.
Техникалык мүнөздөмөлөрү(берилген SiC S1111 сыноо отчетуна жана типтүү маанилерге негизделген)):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | SiC (99.72% SiC, 0.05% Эркин Si) |
| Тыгыздык | 3.10–3.15 г/см³ |
| Суунун сиңирилиши | 0% |
| Ийилүүнүн күчү | 449 МПа |
| Сыныкка туруктуулук | 3.12 МПа·м¹/² |
| Серпилгичтүү модуль | 457 ГПа |
| Виккерстин катуулугу | 25–28 ГПа |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү | 120–150 Вт/м·К |
| КТЭ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Максималдуу колдонуу температурасы (жүктөөсүз) | 1600–1700°C |
| Тегиздик (300 ммден ашык) | ≤5 мкм |
| Беттик жасалгалоо | Ra ≤0.4 мкм (капталган) |
Колдонмолор:
● Жогорку температурада боёо (күйгүзүү, RTP, эпитаксиалдык өстүрүү)
● Фторго жогорку туруктуулугу бар плазмалык оюучу патрон
● Бир калыпта жылытуу/муздатуу менен жука пластина менен иштөө
● Контактсыз пластинаны колдоо үчүн тешиктүү патрон
Өндүрүш:
SiC бышыруу → тегиздикти жана беттик профилди так майдалоо → кошумча тешиктүү түзүлүштү түзүү (вакуумдук патрон үчүн) → шаптоо → ультраүн тазалоо. Ар бир патрон тегиздикке (лазердик интерферометр) жана вакуумдук бирдейликке (агым сыноосу) 100% текшерилет.
Сапатты көзөмөлдөө:
● CMM өлчөмдүү текшерүүсү (диаметри, калыңдыгы, тешиктердин абалы)
● ASTM боюнча тегиздикти өлчөө
● Гелийдин агып кетүүсүн текшерүү (вакуумдук патрондор үчүн)
● Ар бир партия үчүн ийилүүнүн бекемдигин текшерүү (сыноо отчетуна шилтеме)
Алюминий кычкылтек менен жасалган валдарга караганда артыкчылыктары:
● Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү (алюминий оксиди үчүн 120–150 жана 32 Вт/м·К) – жылуулук алмашуу 4 эсе тезирээк
● Төмөнкү CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – пластинанын жылуулук чыңалуусун азайтат
● Плазмага жогорку деңгээлде туруктуулук – фторду оюуда иштөө мөөнөтү 10 эсеге узарат
● Колдонуунун максималдуу температурасы жогору (алюминий кычкылы үчүн 1600°C жана 800°C)
Ыңгайлаштыруу:
● Кеуек же оюк бет
● Диаметри 100–450 мм, тегерек же чарчы
● Четки пломбалоочу шакек же зоналык вакуумдук бөлгүчтөр
● Жогорку катуулуктагы орнотуу үчүн металл таяныч опциясы
Жогорудагы бардык механикалык маалыматтар берилген сыноо отчетунан алынган (партия S1111). Жылуулук жана катуулук маанилери бул SiC классы үчүн типтүү. Тешиктүү SiC патрондору кошумча иштетүүнү талап кылат; белгилүү бир тешиктүүлүк жана тешикчелердин өлчөмү жөнүндө сураңыз.
