Кремний карбиди (SiC) керамикалык уч эффектору – жогорку температурадагы пластиналарды иштетүү үчүн жогорку катуулук
St.Cera компаниясынын SiC керамикалык уч эффектору S1111 партиялык материалын колдонуу менен жогорку тазалыктагы кремний карбидинен (SiC курамы 99,72%, эркин Si 0,05%) жасалган. Ал өзгөчө механикалык касиеттерге ээ: ийилүүгө туруктуулугу 449 МПа (өлчөнгөн), серпилгичтик модулу 457 ГПа (өлчөнгөн) жана Виккерстин катуулугу 25–28 ГПа (типтүү). Төмөн тыгыздыгы (типтүү 3,10–3,15 г/см³) жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуучу роботтор үчүн идеалдуу болгон жогорку салыштырма катуулукту камсыз кылат. 120–150 Вт/м·К (типтүү) жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (типтүү) жылуулук кеңейүү коэффициенти менен бул уч эффектор жогорку температурада иштетүү учурунда (1600–1700°C чейин, жүктөмсүз) жылуулукту натыйжалуу таркатат жана өлчөмдүү туруктуулукту сактайт. Кара/боз түс жана нөлдүк суу сиңирүү таза бөлмөгө шайкештигин камсыз кылат.
Техникалык мүнөздөмөлөрү(берилген SiC S1111 сыноо отчетуна жана типтүү маанилерге негизделген)):
| Мүлк | Баалуулук |
| Материал | SiC (99.72% SiC, 0.05% Эркин Si) |
| Түс | Кара/Боз |
| Тыгыздык | 3.10–3.15 г/см³ |
| Суунун сиңирилиши | 0% |
| Ийилүүнүн күчү | 449 МПа (орточо) |
| Сыныкка туруктуулук | 3.12 МПа·м¹/² (орточо) |
| Серпилгичтүү модуль | 457 ГПа |
| Виккерстин катуулугу | 25–28 ГПа |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү (25°C) | 120–150 Вт/м·К |
| КТЭ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Максималдуу колдонуу температурасы (жүктөөсүз) | 1600–1700°C |
Колдонмолор:
● Жогорку температурадагы пластина менен иштөө (күйгүзүүдөн кийинки, RTP, эпитаксия)
● Эрозияга туруктуулугу жогору плазмалык оюу камералары
● Жогорку ылдамдыктагы которуучу роботтор (жеңил, жогорку катуулукта)
Өндүрүш:
SiC порошок менен бышыруу → колдун профилин жана монтаждоо өзгөчөлүктөрүн так CNC менен майдалоо → беттик шлифовка → ультраүн менен тазалоо. Вакуумдук колдонмолор үчүн 100% өлчөмдүү текшерүү жана гелийдин агып кетүүсүн текшерүү.
Сапатты көзөмөлдөө:
● Узундугун, туурасын жана тегиздигин CMM текшерүүсү
● Ар бир партия үчүн ийилүүнүн бекемдигин текшерүү (сыноо отчетунун стандарты боюнча)
● Беттик кемчиликтерди микроскоп менен визуалдык текшерүү
Глинозем же металлга караганда артыкчылыктары:
● 2 эсе жогору серпилгичтик модулу (алюминий оксиди үчүн 457 жана ~380 ГПа) – азыраак майышуу
● 3 эсе жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү – жылуулуктун тезирээк таркашы
● Алюминий оксидинин абадагы 800°C температурасына салыштырмалуу >1600°C температурага туруштук берет
● Болотко караганда тыгыздыгы төмөн – салмакты 40%га азайтат
Ыңгайлаштыруу:
Узундуктары 150–450 мм, учтарынын формалары (четки кармоочу, Бернулли, жалпак), монтаждоо фланец үлгүлөрү OEM чиймесине ылайык.
*Жогорудагы бардык механикалык маалыматтар берилген сыноо отчетунан алынган (партия S1111). Жылуулук жана катуулук маанилери бул SiC классы үчүн типтүү; партияга тиешелүү сертификация алуу үчүн биз менен байланышыңыз.*
