-
Алюминий кычкылынын жогорку тактыктагы керамикалык шакекчесинин керамикалык тетиктери
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
ST.CERA Жарым өткөргүч жабдуулары үчүн керамикалык патрондор
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Кремний карбиди (SiC) керамикалык уч эффектору – жогорку температурадагы пластиналарды иштетүү үчүн жогорку катуулук
St.Cera компаниясынын SiC керамикалык уч эффектору жогорку тазалыктагы кремний карбидинен (SiC курамы 99,72%, эркин Si 0,05%) S1111 партиялык материалын колдонуу менен жасалган. Ал өзгөчө механикалык касиеттерге ээ: ийилүүгө туруктуулугу 449 МПа (өлчөнгөн), серпилгичтик модулу 457 ГПа (өлчөнгөн) жана Виккерстин катуулугу 25–28 ГПа (типтүү). Төмөн тыгыздыгы (типтүү 3,10–3,15 г/см³) жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуучу роботтор үчүн идеалдуу болгон жогорку салыштырма катуулукту камсыз кылат. 120–150 Вт/м·К (типтүү) жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (типтүү) жылуулук кеңейүү коэффициенти менен бул уч эффектор жогорку температурада иштетүү учурунда (1600–1700°C чейин, жүктөмсүз) жылуулукту натыйжалуу таркатат жана өлчөмдүү туруктуулукту сактайт. Кара/боз түс жана нөлдүк суу сиңирүү таза бөлмөгө шайкештигин камсыз кылат.
-
Жогорку температурадагы жана плазмалык чөйрөлөр үчүн кремний карбидинин (SiC) негизиндеги вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын SiC негизиндеги керамикалык патрону жогорку тазалыктагы кремний карбидинен жасалган (партия S1111, SiC 99,72%, эркин Si 0,05%). Ал 449 МПа өлчөнгөн ийилүү бекемдигин, 3,12 МПа·м¹/² сынуу бышыктыгын жана 457 ГПа серпилгичтик модулун камсыз кылат. Материалдын типтүү жылуулук өткөрүмдүүлүгү (120–150 Вт/м·К) жана төмөнкү жылуулук кеңейиши (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) термикалык цикл учурунда температуранын тез көтөрүлүшүн жана пластинанын минималдуу кыйшайышын камсыз кылат. Патронду тешиктүү вакуумдук патрон (бирдей газ агымы) же оюктуу стандарттуу патрон катары конфигурациялоого болот. Максималдуу колдонуу температурасы 1600–1700°C (жүксүз) жана плазма эрозиясына өзгөчө туруктуулугу менен бул патрон жогорку температурадагы пластинаны иштетүү (күйгүзүү, RTP) жана алюминий оксиди патрондору бузулган агрессивдүү оюу камералары үчүн идеалдуу.
-
Жарым өткөргүч жабдуулар Керамикалык запастык бөлүктөр Керамикалык ташуучулар
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жогорку катуулуктагы чаптоо колдонмолору үчүн металл менен капталган глиноземдик керамикалык майдалоо шакекчеси
St.Cera компаниясынын металл негизиндеги глинозем майдалоочу шакекчеси жогорку тазалыктагы глинозем (99,8% Al₂O₃) керамикалык эскирүү катмарын так иштетилген металл негизи (адатта алюминий же дат баспас болот) менен айкалыштырат. Бул гибриддик дизайн майдалоочу бетте керамиканын өзгөчө эскирүүгө туруктуулугун жана химиялык инертүүлүгүн камсыз кылат, ал эми металл негизи механикалык бекемдикти, оңой орнотууну жана морт сынууга туруктуулукту кошот. Глинозем катмары ийилүүгө 361 МПа, Виккерс катуулугу 16 ГПа жана 800°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат. Металл негизи тиштөөчү машиналарга, планетардык майдалагычтарга жана CMP жабдууларына интеграциялоо үчүн орнотуучу тешиктер, жайгаштыруучу төөнөгүчтөр же магниттик касиеттер менен ылайыкташтырылган.
-
Жарым өткөргүч зонд станциясынын жабдуулары үчүн керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Al2O3 керамикалык пластиналуу чаканы жекече иштетүү
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
ST.CERA Жарым өткөргүч жабдууларынын керамикалык плитасына ылайыкташтырылган
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 12 дюймдук алюминий кычкылынан жасалган вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын 12 дюймдук вакуум патрону 300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 99,8% жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан (Al₂O₃) тактык менен жасалган. Патрондун бети майда оюктарга ээ (ойуктун туурасы 0,5–1,0 мм, кадамы 2–3 мм), бул 300 мм диаметр боюнча вакуумдун бирдей бөлүштүрүлүшүн камсыз кылат. Тегиздик 5 мкм чегинде сакталат, бул пластинаны кесүү, арткы бетин майдалоо жана текшерүү учурунда кыйшыктыксыз бекитүүгө мүмкүндүк берет. Материалдын жогорку ийилүүгө туруктуулугу (361 МПа) жана катуулугу (16 ГПа) кайталанган вакуум циклдеринде да узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулукту кепилдейт.
-
Интеграцияланган вакуумдук каналдары бар глиноземдик керамикалык эффектор
St.Cera компаниясынын алюминий кычкылынын вакуумдук эффектору так иштетилген вакуумдук каналдарды жана соргуч тешиктерди түз эле 99,8% жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынын корпусуна бириктирет. Бул дизайн тышкы вакуумдук төшөмөлөрдү жокко чыгарат, бул пластинаны түз кармоо күчү менен алууга мүмкүндүк берет. Материалдын жогорку ийилүүчү күчү (361 МПа) жана катуулугу (16 ГПа) кайталанган вакуумдук циклдерде узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат. Төшөмөнүн аянтындагы тегиздик 10 мкм чегинде сакталат, бул пластинанын чыңалуусунун жана сынуусунун алдын алат. OEM робот колдору менен оңой интеграциялоо үчүн вакуумдук порттор арткы орнотуу фланецинде жайгашкан.
-
Статикалык сезгич пластиналарды иштетүү үчүн ESD-коопсуз глиноземдик керамикалык тетиктер
St.Cera компаниясынын ESD (электростатикалык разряд) үчүн коопсуз алюминий кычкылынын керамикалык бөлүктөрү 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃дон жасалат, ал 10⁶–10⁹ Ω/кв беттик каршылыгы менен жекече легирлөө же каптоо процесси аркылуу жетишилет. Бул бөлүктөрү статикалык зарядды натыйжалуу жок кылат, сезгич жарым өткөргүч пластиналарга жана түзүлүштөргө электростатикалык зыяндын алдын алат. Негизги материал жогорку ийилүүчү бекемдигин (361 МПа), катуулугун (16 ГПа) жана диэлектрикалык бекемдигин (15 × 10⁶ В/м) сактайт. ESD үчүн коопсуз керамикалык бөлүктөргө учтук эффекторлор, көтөргүч төөнөгүчтөр, багыттагыч рельстер жана FAB автоматташтыруу үчүн атайын орнотмолор кирет.
