-
Жарым өткөргүч зонд жабдуулары үчүн керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Керамикалык плита жарым өткөргүч жабдууларын ташуучу
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жарым өткөргүч жабдуулардын керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жогорку температурадагы камераны пломбалоо үчүн жогорку тазалыктагы глинозем керамикалык пломба шакекчеси
St.Cera компаниясынын керамикалык пломба шакеги эластомерлер бузулган экстремалдык чөйрөлөрдө полимердик О-шакектерге альтернатива катары иштелип чыккан. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган бул катуу пломба шакеги статикалык пломбалоо колдонмолорунда — адатта жумшак металл же графит прокладкасы менен жупташып — 800°C чейинки температурада жана агрессивдүү плазмалык же химиялык чөйрөлөрдө ишенимдүү вакуумдук же газды кармоону камсыз кылуу үчүн колдонулат. Материал нөлдүк газ бөлүп чыгарууну, жогорку кысуу күчүн (негизги ийилүү күчү 361 МПа) жана химиялык инерттүүлүктү (HFден башка галогендерге, кислоталарга жана щелочторго туруктуу) камсыз кылат. Тактык менен капталган пломбалоочу беттер (жалпактыгы ≤5 мкм, беттин оройлугу Ra ≤0,2 мкм) жупташкан металл же керамикалык компоненттер менен агып кетпей турган байланышты камсыз кылат.
-
Плазмалык оюу жана жүрөк-кан тамыр системалары үчүн жогорку тазалыктагы алюминий кычкыл камерасынын фокустук шакекчеси
St.Cera компаниясынын камералык фокустук шакеги плазмалык оюуда, CVD жана PVD жарым өткөргүч жабдууларында колдонулган маанилүү процесстик комплекттин компоненти болуп саналат. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган шакекче пластинанын четин курчап, плазманы чектеп, иондордун бурчтук бөлүштүрүлүшүн оптималдаштырып, ошону менен пластинанын бети боюнча оюунун бирдейлигин жакшыртат. Материал өзгөчө плазмалык каршылыкты, жогорку диэлектрикалык бекемдикти (15 × 10⁶ V/m) жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат, бул агрессивдүү фтор же хлор негизиндеги плазма чөйрөсүндө узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү камсыз кылат. Тактык менен жерленген ID/OD жана тегиздик (≤10 мкм) пластинанын четин так жайгаштырууга мүмкүндүк берет, четинин кемчиликтерин жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат.
-
CVD / PVD процесстик камералары үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык шакекче
St.Cera компаниясынын керамикалык шакекчеси CVD (Химиялык буу чөктүрүү) жана PVD (Физикалык буу чөктүрүү) процесстик камераларында колдонуу үчүн атайын иштелип чыккан. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган бул шакекче плазманы чектөө жана камеранын дубалдарын эрозиядан коргоо үчүн камеранын каптамасы, фокустук шакекче же процесстик комплекттин компоненти катары кызмат кылат. Материал плазмага эң сонун туруктуулукту, жогорку диэлектрикалык бекемдикти (15 × 10⁶ V/m) жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат, бул агрессивдүү фтор негизиндеги плазма чөйрөсүндө узак кызмат мөөнөтүн камсыз кылат. Так өлчөмдүү толеранттуулуктар (ID/OD боюнча ±0,05 мм) жана тегиздик (≤10 мкм) пластинанын четин ырааттуу жайгаштырууга мүмкүндүк берет, чөкмөнүн бирдейлигин жакшыртат жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат.
-
Бернулли керамикалык уч эффектору — жука жана морт пластиналар үчүн контактсыз пластина менен иштөө
St.Cera компаниясынын Бернулли керамикалык уч эффектору пластиналарды физикалык байланышсыз иштетүү үчүн аэродинамикалык көтөрүүнү колдонот. Жогорку тазалыктагы 99,8% глиноземден (Al₂O₃) же кремний карбидинен (SiC) жасалган ал так иштетилген соплолорго ээ, алар уч эффектор менен пластинанын ортосунда жука аба пленкасын түзүү үчүн басымдуу газды чыгарат. Бул байланышсыз принцип арткы бетинин булганышын, четинин сынып кетишин жана беттин бузулушун жок кылат, бул аны жука (≤100 мкм), морт же ийилген пластиналар үчүн идеалдуу кылат. Керамикалык субстрат жогорку ийилүүчү бекемдикти (Al₂O₃ үчүн 361 МПа; SiC үчүн 550–600 МПа чейин), аз массалык жана эң сонун өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат, бул жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуу роботторунда кайталануучу жайгаштырууну камсыз кылат.
-
Жарым өткөргүчтөр жана өнөр жайлык колдонмолор үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык тетиктер
St.Cera кардарлардын талаптарына ылайык так иштетилген глинозем (Al₂O₃) керамикалык тетиктерин чыгарат. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземди колдонуу менен, бул компоненттер эң сонун ийилүүгө туруктуулукту (361 МПа), жогорку катуулукту (16 ГПа) жана эң сонун диэлектрикалык туруктуулукту (15 × 10⁶ В/м) камсыз кылат. Жарым өткөргүч жабдуулар, эскирүүгө туруктуу курамдар, электр изоляторлору жана жогорку температурадагы арматуралар үчүн иштелип чыккан материал нөлгө жакын суу сиңирүүнү (0%) жана 7,2 × 10⁻⁶/℃ жылуулук кеңейүү коэффициентин сунуштайт, бул экстремалдык шарттарда өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат.
-
Бурмаланган пластиналарды иштетүү үчүн тешиктүү керамикалык вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын тешиктүү керамикалык патрону жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан жасалган, анын ачык тешиктүүлүгү 30–45% жана тешикчелеринин өлчөмдөрү 10дон 100 мкмге чейин. Кадимки оюктуу патрондордон айырмаланып, тешиктүү бет пластинанын арткы бетинин бүтүндөй бетине бөлүштүрүлгөн вакуумду камсыз кылат, ийри, ичке же обочолонгон пластиналарды четтери көтөрүлбөй же сынбай натыйжалуу кармап турат. Жумшак вакуум (чектөөчү аркылуу жөнгө салынат) ошондой эле арткы бетинде белгилердин пайда болушуна жол бербейт.
-
Жука пластиналарды иштетүү үчүн глинозем негизиндеги тешиктүү керамикалык вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын алюминий кычкылынан жасалган тешиктүү патрон 99,6% жогорку тазалыктагы Al₂O₃дон жасалган, ачык тешиктүүлүгү 30–45% көзөмөлдөнөт жана тешикчелердин өлчөмү 10дон 50 мкмге чейин бирдей. Оюктуу патрондордон айырмаланып, тешиктүү бет пластинанын арткы бетинин бардык жерине бөлүштүрүлгөн вакуумду камсыз кылат, четиндеги белгилерди жок кылат жана өтө жука (≤100 мкм) же майыштырылган пластиналарды акырын кармоого мүмкүндүк берет. Материал ийилүүгө ≥250 МПа жана абада 400°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат.
-
CVD/PVD душ баштыгы үчүн глинозем газын бөлүштүрүүчү плита
St.Cera компаниясынын газ бөлүштүрүүчү плитасы (душ баштыгы) жогорку тазалыктагы 99,8% алюминий кычкылынан жасалган керамикадан тактык менен иштетилген. Ал CVD, PVD же ALD процесстеринде пластинанын бети боюнча бирдей газ агымын камсыз кылган бир катар микро-тешиктерге (диаметри 0,3–1,5 мм) ээ. Пластинанын жогорку диэлектрикалык бекемдиги (>15×10⁶ V/м) жана плазмага туруктуулугу аны жарым өткөргүч жука пленкалуу чөкмө үчүн маанилүү кылат.
-
Жарым өткөргүчтүү процесстик арматуралар үчүн керамикалык тирөөч төөнөгүч
St.Cera компаниясынын керамикалык тирөөч төөнөгүчтөрү (ошондой эле көтөргүч төөнөгүчтөр же тирөөч төөнөгүчтөр деп аталат) жарым өткөргүчтүү иштетүү камераларында пластиналарды же субстраттарды иштетүү, ысытуу же муздатуу учурунда көтөрүү үчүн колдонулат. 99,8% алюминий кычкылынан же кремний нитридинен жасалган бул төөнөгүчтөр жогорку кысуу күчүн, жылуулук туруктуулугун жана химиялык каршылыкты камсыз кылат. Жарым шар же жалпак учтуу конструкция пластинанын чийилишине жол бербейт.
